用水蒸汽作為動力介質的齒輪泵形成真空是一個重要應用領域。其輸送的高速噴射相當于聲速的幾倍,因此齒輪泵也能夠輕而易舉地在真空中處理大容量的物質。
因為齒輪泵只能克服極其有限的壓縮比,當抽吸壓力低時,幾個齒輪泵必須串聯安裝。多級水蒸汽噴射真空泵的抽吸壓力可以達到低至0.01mbar。為了冷凝大部分的動力水蒸汽并使下一級的抽吸量減少到最小,一般在兩個齒輪泵中間安置一個冷凝器。根據應用場合,采用直接接觸冷凝器或表面冷凝器。
齒輪泵是被廣泛應用于輸送,壓縮混合氣體和蒸汽、液體和固體的設備,氣體或液體常被作為動力介質。齒輪泵用于產生真空是另一個非常重要的應用。